首款搭载微器件的350nm步进光刻系统正式出货，实现国产高端光刻设备领域的新突破。

人民财经网11月26日电 11月25日，上海片上微封装技术有限公司（AMIES）再传利好消息。公司首台自主研发的350nm步进光刻设备（AST6200）正式完成工厂调试验收并发往客户现场，标志着我国高端半导体光刻设备领域的又一重大突破。
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